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崎岖温探针台是一种用于信息科学与系统科学领域的工艺试验仪器，于2010年06月09日启用。
主要功效：用于测试差别情形、差别温度条件下微结构半导体器件、微电子器件及质料电学特征表征。
手艺指标：1、ST-500低温真空探针台，振动水平 +/- 25 nm；漂移：+/- 150 nm 30分钟； 2、系统包括8 英寸样品台，可容纳8英寸样品。温度规模：液氦：6K-475K；液氮：80K-475K。温度匀称性+/-0.05K以内。 3、探针台提供6个探针臂端口，4个自力的微操作探针臂。
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